松田産業株式会社

 
 

真空装置治具洗浄Cleaning of PVD・CVD parts

松田産業の精密洗浄とは、PVD,CVD等の真空薄膜形成装置の内部治具をお預かりし、特殊な技術で堆積膜を除去・精密洗浄して可能な限り新品に近い状態でお返しするサービスです。

洗浄の御提案

・リサイクル事業で培った精錬技術を生かし、半導体や電子部品で使用する薄膜形成装置の内部治具の精密洗浄に対して、最適な剥離条件を提案致します。
・ブラストや溶射等の表面処理、お客様の要望に応じた検査、測定、分析、パーツ修理、パーツ製作、各種加工にも対応可能な体制を構築しております。

取引フローの一例

*アンカー効果や応力緩和効果を有効的に組合せ、膜剥がれやパーティクル抑制を目的とした、最適な施工条件を提案致します。
溶射の評価項目としてサーフテスターによる粗さ測定やマクロレンズ・SEMによる表面及び断面の被膜観察、引張り試験機による密着力評価が可能です。

ブラスト機

SEM溶射断面観察写真

溶射自動ロボット

超音波洗浄機

 

洗浄取引に付随するサービス

・貴金属堆積品からは、松田産業内にて貴金属回収が可能です。回収された貴金属は、買取又は地金返却、薄膜材料への加工返却も可能です。
・スペアパーツや消耗パーツが不足している場合、洗浄受託時に図面トレースから製作まで対応可能です。

 

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