松田産業株式会社

 
 
 

ウエハ固定用波形バネThe spring for wafer fixation

松田産業は半導体前工程で使用されるウエハ固定用の波形バネを販売しており、お客様の歩留り向上に貢献しております。

ウエハ用固定バネの紹介

現在普及しているバネの問題点
バネテンションの詳細設定が出来ない(強い・弱い程度)ため、
①バネテンションが強く、ウエハ割れ(クラック)が入る。
②バネテンションが弱く、ウエハが落下する。

 

新型バネの特徴

バネテンションの詳細設定可能

  • お客様の仕様に応じた、最適なテンションを設定可能です。
  • 出荷検査にてバネの加重測定を実施致します。
  • ⇒歩留りUPに貢献!

※本バネの設計には、現在お客様がお使いのホルダーが必要になります。
詳細は是非一度お問合わせ下さい。

 

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