熱電対thermocouple
松田産業は半導体前工程における酸化拡散工程、CVD工程、RTA工程の各炉体で使用される熱電対を取り扱っております。
ハネウェル社製熱電対のご紹介
取り扱い熱電対の特徴
国際規格に準じているIEC（国際電気標準会議）規格に順応。
充実したトレーサビリティ体系。
TYPE-R.S class 1 TYPE-B.class 2 を販売。
新規品、及び改鋳品に対応。
| 保証温度 | IEC規格 | |
|---|---|---|
| Class1 | Class2 | |
| 600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
| 700℃ | ±1.0℃ | ±1.75℃ |
| 800℃ | ±1.0℃ | ±2.0℃ |
| 900℃ | ±1.0℃ | ±2.25℃ |
| 1000℃ | ±1.0℃ | ±2.5℃ |
| 1100℃ | ±1.0℃ | ±2.75℃ |
| 1200℃ | ±1.3℃ | ±3.0℃ |
| 1300℃ | ±1.6℃ | ±2.25℃ |
| 1400℃ | ±1.9℃ | ±3.5℃ |
| 1500℃ | ±2.2℃ | - |
| 1600℃ | ±2.5℃ | - |
※保証温度許容姜 IEC規格のclass1.class2に準じる
ハネウェル社 熱電対の特徴
- 高度な品質システム：IS09001:2008
- OEM認定ベンダー ⇒半導体装置メーカー主要OEMサプライヤー
- 熱電対の設計およびエンジニアリングサービスを提供
- TC交換（SWAP）プログラム ⇒ 改鋳サービス
- 精密な温度測定と優れた再現性で世界クラスのキャリブレーション