熱電対thermocouple
松田産業は半導体前工程における酸化拡散工程、CVD工程、RTA工程の各炉体で使用される熱電対を取り扱っております。
ハネウェル社製熱電対のご紹介
取り扱い熱電対の特徴
国際規格に準じているIEC(国際電気標準会議)規格に順応。
充実したトレーサビリティ体系。
TYPE-R.S class 1 TYPE-B.class 2 を販売。
新規品、及び改鋳品に対応。
保証温度 | IEC規格 | |
---|---|---|
Class1 | Class2 | |
600℃ | ±1.0℃ | ±1.5℃ |
700℃ | ±1.0℃ | ±1.75℃ |
800℃ | ±1.0℃ | ±2.0℃ |
900℃ | ±1.0℃ | ±2.25℃ |
1000℃ | ±1.0℃ | ±2.5℃ |
1100℃ | ±1.0℃ | ±2.75℃ |
1200℃ | ±1.3℃ | ±3.0℃ |
1300℃ | ±1.6℃ | ±2.25℃ |
1400℃ | ±1.9℃ | ±3.5℃ |
1500℃ | ±2.2℃ | - |
1600℃ | ±2.5℃ | - |
※保証温度許容姜 IEC規格のclass1.class2に準じる
ハネウェル社 熱電対の特徴
- 高度な品質システム:IS09001:2008
- OEM認定ベンダー ⇒半導体装置メーカー主要OEMサプライヤー
- 熱電対の設計およびエンジニアリングサービスを提供
- TC交換(SWAP)プログラム ⇒ 改鋳サービス
- 精密な温度測定と優れた再現性で世界クラスのキャリブレーション