松田産業株式会社

 
 
 

薄膜製造装置用保守部品の製造と販売Manufacture and sale of the service parts for thin-film-fabrication equipment

松田産業は精密洗浄サービスに併せて、劣化したパーツの再加工修理やパーツの受託加工も行っております。

加工部品販売事業の紹介

パーツ受託加工(トレース⇒設計⇒部品制)

・3次元測定機等を用いた現物トレース
・素材・仕様変更によるコストダウン提案やカスタマイズ提案
・精密洗浄事業との連携で、精密洗浄後、修理やトレースサービス等も対応可能

加工内容紹介

・パーツ劣化に伴う修理(溶接、反り矯正、タップ切り直し)も可能
・各種加工品対応可能(板金、切削等の各種加工、鏡面研磨他)
 各種表面処理も可能(テフロン、溶射、アルマイト、メッキ他)
 研磨(パフ、ラップ等の各研磨により鏡面仕上げも可能)

 
材質名 材質分類 対象装置名 主要品目
AL A2017 A5052 A5056 A6061 RIE CVD PVD 絞り加工品 切削加工品 アルマイト
SUS SUS303 SUU304 SUS316 インコネル PVD 拡散炉 他 絞り加工品 切削加工品
Ti 工業チタン第2種 PVD メッキ装置(不溶性電極) 切削加工品 メッシュ パンチングメタル
一般金属 C1020 黄銅 他 PVD バッキングプレート ハースライナー
高融点金属 Mo Ta W MOCVD インプラ関連 PVD ボート ハースライナー フィラメント コレクターリング ヒーター
樹脂 テフロン(PTFE他) べスペル 各種装置全般 耐熱・耐酸性・帯電防止用途品
石英(パイレックス) 合成石英 溶融石英 RIE CVD リング関係 各種窓 ベルジャー
SIC 各純度対応 RIE CVD 拡散炉 静電チャック
セラミックス 各純度対応 RIE・CVD・PVD 各種フォーク シールド 搬送系
シリコン 各純度対応 RIE・CVD フォーカスリング
 

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